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3D成像装置、用于制造该3D成像装置的方法及3D成像系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201010287355.5
申请日：
2010-09-17
公开(公告)号：
CN102024833A
公开(公告)日：
2011-04-20
发明(设计)人：
斯特凡娜·盖廷
皮埃尔·费雷
塞尔吉奥·尼科莱蒂
申请人：
申请人地址：
法国巴黎
IPC主分类号：
H01L27146
IPC分类号：
代理机构：
北京康信知识产权代理有限责任公司 11240
代理人：
余刚;吴孟秋
法律状态：
发明专利申请公布后的视为撤回
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-01-21 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101710182831 IPC(主分类):H01L 27/146 专利申请号:2010102873555 申请公布日:20110420 |
| 2011-04-20 | 公开 | 公开 |
| 2012-10-10 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101333915305 IPC(主分类):H01L 27/146 专利申请号:2010102873555 申请日:20100917 |