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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-05-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101072508443 IPC(主分类):C23C 22/52 专利申请号:2010105629172 申请日:20101126 |
| 2011-04-06 | 公开 | 公开 |
| 2012-12-19 | 授权 | 授权 |
| 2015-01-07 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101594993137 IPC(主分类):C23C 22/52 专利号:ZL2010105629172 申请日:20101126 授权公告日:20121219 终止日期:20131126 |