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具有晶圆移位限止结构的晶圆承盘
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201520055354.6
申请日：
2015-01-27
公开(公告)号：
CN204507511U
公开(公告)日：
2015-07-29
发明(设计)人：
罗郁南
申请人：
申请人地址：
中国台湾台中市大雅区前村东路45巷8号
IPC主分类号：
B65D136
IPC分类号：
代理机构：
上海浦一知识产权代理有限公司 31211
代理人：
栾美洁
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-07-29 | 授权 | 授权 |