晶圆承盘结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420277092.3

申请日：

2014-05-28

公开(公告)号：

CN203910772U

公开(公告)日：

2014-10-29

发明(设计)人：

罗郁南

申请人：

申请人地址：

中国台湾台中市大雅区前村东路45巷8号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L2168 H01L21683

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

丁纪铁

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-22	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/673 申请日:20140528 授权公告日:20141029 终止日期:20190528
2014-10-29	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆承盘结构 [P].

罗郁南 .

中国专利 :CN204927258U ,2015-12-30

[2]

晶圆托盘结构 [P].

白英宏 ;

张继允 .

中国专利 :CN204407308U ,2015-06-17

[3]

晶圆托盘结构 [P].

白英宏 ;

张继允 .

中国专利 :CN204391078U ,2015-06-10

[4]

晶圆托盘结构 [P].

陈宜杰 ;

罗世欣 .

中国专利 :CN204289416U ,2015-04-22

[5]

具有晶圆移位限止结构的晶圆承盘 [P].

罗郁南 .

中国专利 :CN204507511U ,2015-07-29

[6]

晶圆承台 [P].

宋轶斐 .

中国专利 :CN210092055U ,2020-02-18

[7]

一种晶圆加热盘结构 [P].

李翔 ;

姜小姣 ;

孙宁 ;

赵亢 ;

邹云 ;

胡显冰 ;

侯占杰 ;

于志家 ;

安华 .

中国专利 :CN221930151U ,2024-10-29

[8]

一种晶圆承载盘结构 [P].

张星 .

中国专利 :CN221508124U ,2024-08-09

[9]

一种晶圆热盘结构 [P].

许志雄 .

中国专利 :CN212676224U ,2021-03-09

[10]

晶圆承盘的端盖结构 [P].

罗郁南 .

中国专利 :CN204642587U ,2015-09-16

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