晶圆托盘结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520018551.0

申请日：

2015-01-12

公开(公告)号：

CN204407308U

公开(公告)日：

2015-06-17

发明(设计)人：

白英宏张继允

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹县湖口乡胜利村光复南路16号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019

代理人：

寿宁;张华辉

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-06-17	授权	授权
2018-12-28	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/673 申请日:20150112 授权公告日:20150617 终止日期:20180112

共 50 条

[1]

晶圆托盘结构 [P].

白英宏 ;

张继允 .

中国专利 :CN204391078U ,2015-06-10

[2]

晶圆托盘结构 [P].

陈宜杰 ;

罗世欣 .

中国专利 :CN204289416U ,2015-04-22

[3]

晶圆制造设备及其下电极结构和托盘结构 [P].

陈宜杰 ;

罗世欣 .

中国专利 :CN204391068U ,2015-06-10

[4]

晶圆承盘结构 [P].

罗郁南 .

中国专利 :CN203910772U ,2014-10-29

[5]

晶圆承盘结构 [P].

罗郁南 .

中国专利 :CN204927258U ,2015-12-30

[6]

晶圆托盘定位结构及晶圆片溅镀设备 [P].

洪俊 .

中国专利 :CN217387116U ,2022-09-06

[7]

托盘结构 [P].

张志康 ;

田志杰 .

中国专利 :CN209480231U ,2019-10-11

[8]

托盘结构 [P].

杨棨錞 .

中国专利 :CN201859381U ,2011-06-08

[9]

托盘结构 [P].

吴昊 .

中国专利 :CN206579987U ,2017-10-24

[10]

托盘结构 [P].

王文龙 ;

刘建华 .

中国专利 :CN200965793Y ,2007-10-24

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