一种化学机械抛光液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711439533.X

申请日：

2017-12-27

公开(公告)号：

CN109971355A

公开(公告)日：

2019-07-05

发明(设计)人：

姚颖卞鹏程潘依君荆建芬李恒张建蔡鑫元马健

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区碧波路889号1幢E座第1至第2层，以及第3层的部分区域

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

H01L21306

代理机构：

北京大成律师事务所 11352

代理人：

李佳铭;沈汶波

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-07-05	公开	公开
2021-06-08	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C09G 1/02 申请公布日:20190705

共 50 条

[1]

一种酸性化学机械抛光液 [P].

高嫄 ;

荆建芬 ;

潘依君 ;

蔡鑫元 .

中国专利 :CN106928855A ,2017-07-07

[2]

一种化学机械抛光液 [P].

姚颖 ;

荆建芬 ;

卞鹏程 ;

潘依君 ;

李恒 ;

宋凯 ;

杨俊雅 ;

马健 .

中国专利 :CN109971354A ,2019-07-05

[3]

一种酸性化学机械抛光液 [P].

高嫄 ;

荆建芬 ;

潘依君 ;

蔡鑫元 .

中国专利 :CN106928857A ,2017-07-07

[4]

一种碱性化学机械抛光液 [P].

何华锋 ;

王晨 .

中国专利 :CN103205205A ,2013-07-17

[5]

一种酸性化学机械抛光液 [P].

高嫄 ;

荆建芬 ;

潘依君 ;

蔡鑫元 .

中国专利 :CN106928856A ,2017-07-07

[6]

一种化学机械抛光液及其应用 [P].

荆建芬 ;

姚颖 ;

邱腾飞 ;

蔡鑫元 ;

陈宝明 .

中国专利 :CN104745090A ,2015-07-01

[7]

一种化学机械抛光液和化学机械抛光方法 [P].

张力飞 ;

王同庆 ;

王淑慧 ;

路新春 .

中国专利 :CN116606595B ,2025-05-16

[8]

一种化学机械抛光液 [P].

潘依君 ;

荆建芬 ;

张建 ;

姚颖 ;

宋凯 ;

蔡鑫元 ;

杨俊雅 ;

卞鹏程 ;

李恒 .

中国专利 :CN109971358A ,2019-07-05

[9]

一种化学机械抛光液 [P].

卞鹏程 ;

荆建芬 ;

姚颖 ;

李恒 ;

黄悦锐 ;

马健 .

中国专利 :CN111378381A ,2020-07-07

[10]

一种化学机械抛光液 [P].

宋伟红 ;

姚颖 .

中国专利 :CN101684392B ,2010-03-31

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