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一种硅片夹爪及硅片夹持机构
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201820275401.1
申请日：
2018-02-26
公开(公告)号：
CN207587717U
公开(公告)日：
2018-07-06
发明(设计)人：
葛林五
陈景韶
葛林新
李杰
丁高生
申请人：
申请人地址：
201405 上海市奉贤区堂富路88号101室
IPC主分类号：
H01L21687
IPC分类号：
代理机构：
上海智力专利商标事务所(普通合伙) 31105
代理人：
周涛
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-07-06 | 授权 | 授权 |