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一种硅片夹爪及硅片夹持机构
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810162750.7
申请日：
2018-02-26
公开(公告)号：
CN108376668A
公开(公告)日：
2018-08-07
发明(设计)人：
葛林五
陈景韶
葛林新
李杰
丁高生
申请人：
申请人地址：
201405 上海市奉贤区堂富路88号101室
IPC主分类号：
H01L21687
IPC分类号：
代理机构：
上海智力专利商标事务所(普通合伙) 31105
代理人：
周涛
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-08-07 | 公开 | 公开 |
| 2018-08-31 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/687 申请日:20180226 |