光刻设备和器件制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201180058558.X

申请日：

2011-11-15

公开(公告)号：

CN103238113A

公开(公告)日：

2013-08-07

发明(设计)人：

埃尔温·范茨韦特彼得·德亚格尔约翰内斯·昂伍李汉瑞克·德曼

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

吴敬莲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-09-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101514733264 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:201180058558X 申请日:20111115
2013-08-07	公开	公开
2015-09-09	授权	授权
2018-11-02	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20111115 授权公告日:20150909 终止日期:20171115

共 50 条

[1]

光刻设备和器件制造方法 [P].

埃尔温·范茨韦特 ;

彼得·德亚格尔 ;

约翰内斯·昂伍李 ;

埃里克·弗瑞特茨 .

中国专利 :CN102834777B ,2012-12-19

[2]

光刻设备和器件制造方法 [P].

J·J·库特 ;

D·F·库普 .

中国专利 :CN101634812A ,2010-01-27

[3]

光刻设备和器件制造方法 [P].

M·J·沃奥尔戴尔冬克 ;

R·C·昆斯特 ;

Y·K·M·德沃斯 ;

J·H·A·范德瑞吉德特 ;

R·J·T·范克姆彭 .

中国专利 :CN101840159B ,2010-09-22

[4]

光刻设备和器件制造方法 [P].

约瑟夫·玛丽亚·芬德斯 .

中国专利 :CN101598902B ,2009-12-09

[5]

光刻设备和器件制造方法 [P].

R·T·P·考姆彭 ;

M·M·P·A·沃梅尤恩 ;

A·B·杰尤恩克 ;

E·R·鲁普斯卓 ;

J·J·奥腾斯 ;

P·斯密特斯 ;

H·J·M·凡阿毕伦 ;

A·A·梅尤恩迪杰克斯 ;

M·霍本 ;

R·W·A·H·理纳尔斯 .

中国专利 :CN101713929A ,2010-05-26

[6]

光刻设备和器件制造方法 [P].

A·J·布里克 ;

J·J·M·巴塞曼斯 ;

M·M·T·M·迪伊里奇斯 ;

C·瓦格纳 ;

L·赖齐科夫 ;

S·Y·斯米诺夫 ;

K·Z·特鲁斯特 .

中国专利 :CN101598904B ,2009-12-09

[7]

光刻设备和器件制造方法 [P].

H·巴特勒 ;

M·J·沃奥尔戴尔冬克 ;

M·W·J·E·威吉克曼斯 .

中国专利 :CN110268332A ,2019-09-20

[8]

光刻设备和器件制造方法 [P].

J·J·奥坦斯 ;

M·E·J·伯恩曼 ;

T·J·M·卡斯坦米勒 ;

A·B·祖尼克 .

中国专利 :CN1971430A ,2007-05-30

[9]

器件制造方法和光刻设备 [P].

L·C·德温特 ;

J·M·芬德尔斯 .

中国专利 :CN101866117B ,2010-10-20

[10]

光刻设备和器件制造方法 [P].

H·K·尼恩黑斯 ;

M·A·W·崔帕斯 ;

L·M·莱瓦西尔 ;

简·伯纳德·普莱彻尔墨斯·范斯库特 ;

Y·J·G·范德维基沃尔 ;

O·V·沃兹纳 ;

F·J·J·詹森 ;

D·M·H·菲利普斯 ;

M·A·C·马兰达 ;

O·加拉克季奥诺夫 ;

L·J·A·凡鲍克霍文 ;

N·坦凯特 ;

M·兰詹 ;

A·P·瑞吉普玛 ;

K·巴尔 ;

R·W·A·H·施密茨 ;

A·L·C·勒鲁 .

中国专利 :CN102681351A ,2012-09-19

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