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光刻设备和器件制造方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200910151900.5
申请日：
2005-12-26
公开(公告)号：
CN101598904B
公开(公告)日：
2009-12-09
发明(设计)人：
A·J·布里克 J·J·M·巴塞曼斯 M·M·T·M·迪伊里奇斯 C·瓦格纳 L·赖齐科夫 S·Y·斯米诺夫 K·Z·特鲁斯特
申请人：
申请人地址：
荷兰维尔德霍芬
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：
王波波
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2012-05-30 授权 授权
2010-02-03 实质审查的生效 实质审查的生效
2018-12-11 专利权的终止 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20051226 授权公告日:20120530 终止日期:20171226
2009-12-09 公开 公开
共 50 条
[1]
光刻设备和器件制造方法 [P]. 
T·P·M·卡迪 ;
J·H·W·贾科布斯 ;
N·坦卡特 ;
E·R·鲁普斯特拉 ;
A·L·H·J·范米尔 ;
J·J·S·M·梅坦斯 ;
C·G·M·德莫 ;
M·J·E·H·米特詹斯 ;
A·J·范德内特 ;
J·J·奥坦斯 ;
J·A·夸伊达克斯 ;
M·E·鲁曼-休斯肯 ;
M·K·斯塔温加 ;
P·A·J·廷内曼斯 ;
M·C·M·维哈根 ;
J·J·L·H·维斯帕 ;
F·E·德荣格 ;
K·戈尔曼 ;
B·门奇奇科夫 ;
H·博姆 ;
S·尼蒂亚诺夫 ;
R·莫尔曼 ;
M·F·P·斯米特斯 ;
B·L·P·小恩德马克 ;
F·J·J·詹斯森 ;
M·里伊彭 .
中国专利 :CN101923290B ,2010-12-22
[2]
光刻设备和器件制造方法 [P]. 
T·P·M·卡迪 ;
J·H·W·贾科布斯 ;
N·坦卡特 ;
E·R·鲁普斯特拉 ;
A·L·H·J·范米尔 ;
J·J·S·M·梅坦斯 ;
C·G·M·德莫 ;
M·J·E·H·米特詹斯 ;
A·J·范德内特 ;
J·J·奥坦斯 ;
J·A·夸伊达克斯 ;
M·E·鲁曼－休斯肯 ;
M·K·斯塔温加 ;
P·A·J·廷内曼斯 ;
M·C·M·维哈根 ;
J·J·L·H·维斯帕 ;
F·E·德荣格 ;
K·戈尔曼 ;
B·门奇奇科夫 ;
H·博姆 ;
S·尼蒂亚诺夫 ;
R·莫尔曼 ;
M·F·P·斯米特斯 ;
B·L·P·小恩德马克 ;
F·J·J·詹斯森 ;
M·里伊彭 .
中国专利 :CN1746775A ,2006-03-15
[3]
光刻设备和器件制造方法 [P]. 
约瑟夫·玛丽亚·芬德斯 .
中国专利 :CN101598902B ,2009-12-09
[4]
光刻设备和器件制造方法 [P]. 
R·T·P·考姆彭 ;
M·M·P·A·沃梅尤恩 ;
A·B·杰尤恩克 ;
E·R·鲁普斯卓 ;
J·J·奥腾斯 ;
P·斯密特斯 ;
H·J·M·凡阿毕伦 ;
A·A·梅尤恩迪杰克斯 ;
M·霍本 ;
R·W·A·H·理纳尔斯 .
中国专利 :CN101713929A ,2010-05-26
[5]
光刻设备和器件制造方法 [P]. 
埃尔温·范茨韦特 ;
彼得·德亚格尔 ;
约翰内斯·昂伍李 ;
汉瑞克·德曼 .
中国专利 :CN103238113A ,2013-08-07
[6]
光刻设备和器件制造方法 [P]. 
H·巴特勒 ;
M·J·沃奥尔戴尔冬克 ;
M·W·J·E·威吉克曼斯 .
中国专利 :CN110268332A ,2019-09-20
[7]
光刻设备和器件制造方法 [P]. 
J·J·奥坦斯 ;
M·E·J·伯恩曼 ;
T·J·M·卡斯坦米勒 ;
A·B·祖尼克 .
中国专利 :CN1971430A ,2007-05-30
[8]
器件制造方法和光刻设备 [P]. 
L·C·德温特 ;
J·M·芬德尔斯 .
中国专利 :CN101866117B ,2010-10-20
[9]
光刻设备和器件制造方法 [P]. 
H·K·尼恩黑斯 ;
M·A·W·崔帕斯 ;
L·M·莱瓦西尔 ;
简·伯纳德·普莱彻尔墨斯·范斯库特 ;
Y·J·G·范德维基沃尔 ;
O·V·沃兹纳 ;
F·J·J·詹森 ;
D·M·H·菲利普斯 ;
M·A·C·马兰达 ;
O·加拉克季奥诺夫 ;
L·J·A·凡鲍克霍文 ;
N·坦凯特 ;
M·兰詹 ;
A·P·瑞吉普玛 ;
K·巴尔 ;
R·W·A·H·施密茨 ;
A·L·C·勒鲁 .
中国专利 :CN102681351A ,2012-09-19
[10]
光刻设备和器件制造方法 [P]. 
V·V·伊万诺夫 ;
V·Y·班尼恩 ;
K·N·克什烈夫 ;
V·M·克里夫特逊 .
中国专利 :CN101779524B ,2010-07-14
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