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光刻设备和器件制造方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200510113235.2
申请日：
2005-08-12
公开(公告)号：
CN1746775A
公开(公告)日：
2006-03-15
发明(设计)人：
T·P·M·卡迪 J·H·W·贾科布斯 N·坦卡特 E·R·鲁普斯特拉 A·L·H·J·范米尔 J·J·S·M·梅坦斯 C·G·M·德莫 M·J·E·H·米特詹斯 A·J·范德内特 J·J·奥坦斯 J·A·夸伊达克斯 M·E·鲁曼－休斯肯 M·K·斯塔温加 P·A·J·廷内曼斯 M·C·M·维哈根 J·J·L·H·维斯帕 F·E·德荣格 K·戈尔曼 B·门奇奇科夫 H·博姆 S·尼蒂亚诺夫 R·莫尔曼 M·F·P·斯米特斯 B·L·P·小恩德马克 F·J·J·詹斯森 M·里伊彭
申请人：
申请人地址：
荷兰维尔德霍芬
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
G03F900 H01L21027
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
王岳;王忠忠
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2006-03-15 公开 公开
2007-05-02 实质审查的生效 实质审查的生效
2010-07-07 授权 授权
共 50 条
[1]
光刻设备和器件制造方法 [P]. 
T·P·M·卡迪 ;
J·H·W·贾科布斯 ;
N·坦卡特 ;
E·R·鲁普斯特拉 ;
A·L·H·J·范米尔 ;
J·J·S·M·梅坦斯 ;
C·G·M·德莫 ;
M·J·E·H·米特詹斯 ;
A·J·范德内特 ;
J·J·奥坦斯 ;
J·A·夸伊达克斯 ;
M·E·鲁曼-休斯肯 ;
M·K·斯塔温加 ;
P·A·J·廷内曼斯 ;
M·C·M·维哈根 ;
J·J·L·H·维斯帕 ;
F·E·德荣格 ;
K·戈尔曼 ;
B·门奇奇科夫 ;
H·博姆 ;
S·尼蒂亚诺夫 ;
R·莫尔曼 ;
M·F·P·斯米特斯 ;
B·L·P·小恩德马克 ;
F·J·J·詹斯森 ;
M·里伊彭 .
中国专利 :CN101923290B ,2010-12-22
[2]
光刻设备和器件制造方法 [P]. 
A·J·布里克 ;
J·J·M·巴塞曼斯 ;
M·M·T·M·迪伊里奇斯 ;
C·瓦格纳 ;
L·赖齐科夫 ;
S·Y·斯米诺夫 ;
K·Z·特鲁斯特 .
中国专利 :CN101598904B ,2009-12-09
[3]
光刻设备和器件制造方法 [P]. 
约瑟夫·玛丽亚·芬德斯 .
中国专利 :CN101598902B ,2009-12-09
[4]
光刻设备和器件制造方法 [P]. 
R·T·P·考姆彭 ;
M·M·P·A·沃梅尤恩 ;
A·B·杰尤恩克 ;
E·R·鲁普斯卓 ;
J·J·奥腾斯 ;
P·斯密特斯 ;
H·J·M·凡阿毕伦 ;
A·A·梅尤恩迪杰克斯 ;
M·霍本 ;
R·W·A·H·理纳尔斯 .
中国专利 :CN101713929A ,2010-05-26
[5]
光刻设备和器件制造方法 [P]. 
埃尔温·范茨韦特 ;
彼得·德亚格尔 ;
约翰内斯·昂伍李 ;
汉瑞克·德曼 .
中国专利 :CN103238113A ,2013-08-07
[6]
光刻设备和器件制造方法 [P]. 
H·巴特勒 ;
M·J·沃奥尔戴尔冬克 ;
M·W·J·E·威吉克曼斯 .
中国专利 :CN110268332A ,2019-09-20
[7]
光刻设备和器件制造方法 [P]. 
J·J·奥坦斯 ;
M·E·J·伯恩曼 ;
T·J·M·卡斯坦米勒 ;
A·B·祖尼克 .
中国专利 :CN1971430A ,2007-05-30
[8]
器件制造方法和光刻设备 [P]. 
L·C·德温特 ;
J·M·芬德尔斯 .
中国专利 :CN101866117B ,2010-10-20
[9]
光刻设备和器件制造方法 [P]. 
H·K·尼恩黑斯 ;
M·A·W·崔帕斯 ;
L·M·莱瓦西尔 ;
简·伯纳德·普莱彻尔墨斯·范斯库特 ;
Y·J·G·范德维基沃尔 ;
O·V·沃兹纳 ;
F·J·J·詹森 ;
D·M·H·菲利普斯 ;
M·A·C·马兰达 ;
O·加拉克季奥诺夫 ;
L·J·A·凡鲍克霍文 ;
N·坦凯特 ;
M·兰詹 ;
A·P·瑞吉普玛 ;
K·巴尔 ;
R·W·A·H·施密茨 ;
A·L·C·勒鲁 .
中国专利 :CN102681351A ,2012-09-19
[10]
光刻设备和器件制造方法 [P]. 
V·V·伊万诺夫 ;
V·Y·班尼恩 ;
K·N·克什烈夫 ;
V·M·克里夫特逊 .
中国专利 :CN101779524B ,2010-07-14
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