等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410081006.6

申请日：

2008-08-29

公开(公告)号：

CN104051213A

公开(公告)日：

2014-09-17

发明(设计)人：

松浦广行高桥俊树福岛讲平

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

C23C16509

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳;邸万杰

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-10-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587554851 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2014100810066 申请日:20080829
2016-08-03	授权	授权
2014-09-17	公开	公开

共 50 条

[1]

等离子体处理装置 [P].

桧森慎司 ;

林大辅 ;

清水昭贵 .

中国专利 :CN102110574B ,2011-06-29

[2]

等离子体处理装置 [P].

松浦广行 ;

高桥俊树 ;

福岛讲平 .

中国专利 :CN102163530A ,2011-08-24

[3]

等离子体处理装置 [P].

进藤崇央 .

日本专利 :CN121237624A ,2025-12-30

[4]

等离子体处理装置 [P].

松浦广行 ;

高桥俊树 ;

福岛讲平 .

中国专利 :CN101378007A ,2009-03-04

[5]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 ;

山泽阳平 .

中国专利 :CN102522304A ,2012-06-27

[6]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

东条利洋 ;

藤井祐希 .

中国专利 :CN107275179A ,2017-10-20

[7]

等离子体处理方法以及等离子体处理装置 [P].

武藤悟 ;

小野哲郎 ;

大越康雄 ;

永德宏文 .

中国专利 :CN104103486B ,2014-10-15

[8]

等离子体处理方法及等离子体处理装置 [P].

松本直树 ;

舆水地盐 ;

岩田学 ;

田中谕志 .

中国专利 :CN101667534A ,2010-03-10

[9]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

西野雅 ;

真壁正嗣 ;

长山将之 ;

半田达也 ;

绿川良太郎 ;

小林启悟 ;

仁矢铁也 .

中国专利 :CN103959447A ,2014-07-30

[10]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

田才忠 ;

野泽俊久 .

中国专利 :CN101347051B ,2009-01-14

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