等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810171431.9

申请日：

2008-08-29

公开(公告)号：

CN101378007A

公开(公告)日：

2009-03-04

发明(设计)人：

松浦广行高桥俊树福岛讲平

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

H01L21318 C23C16509 H01J3732 H05H146

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司

代理人：

龙淳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-03-04	公开	公开
2010-05-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101001718519 IPC(主分类):H01L 21/00 专利申请号:2008101714319 申请日:20080829
2013-03-27	授权	授权

共 50 条

[1]

等离子体处理装置 [P].

松浦广行 ;

高桥俊树 ;

福岛讲平 .

中国专利 :CN102163530A ,2011-08-24

[2]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

西野雅 ;

真壁正嗣 ;

长山将之 ;

半田达也 ;

绿川良太郎 ;

小林启悟 ;

仁矢铁也 .

中国专利 :CN103959447A ,2014-07-30

[3]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

阪根亮太 ;

小林秀行 ;

长畑寿 ;

罗重佑 .

中国专利 :CN108172493B ,2018-06-15

[4]

等离子体处理装置 [P].

桧森慎司 ;

林大辅 ;

清水昭贵 .

中国专利 :CN102110574B ,2011-06-29

[5]

等离子体处理装置 [P].

泽田郁夫 ;

P·芬泽克 ;

大下辰郎 ;

松崎和爱 ;

康松润 .

中国专利 :CN101601125B ,2009-12-09

[6]

等离子体处理装置 [P].

松浦广行 ;

高桥俊树 ;

福岛讲平 .

中国专利 :CN104051213A ,2014-09-17

[7]

等离子体处理装置 [P].

佐佐木芳彦 ;

佐藤亮 ;

山科井作 .

中国专利 :CN111952141A ,2020-11-17

[8]

等离子体处理装置 [P].

进藤崇央 .

日本专利 :CN121237624A ,2025-12-30

[9]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 ;

山泽阳平 .

中国专利 :CN102522304A ,2012-06-27

[10]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

东条利洋 ;

藤井祐希 .

中国专利 :CN107275179A ,2017-10-20

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