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蚀刻机摇摆模块
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201620742481.8
申请日：
2016-07-15
公开(公告)号：
CN205982907U
公开(公告)日：
2017-02-22
发明(设计)人：
袁树明
韦建晶
申请人：
申请人地址：
215021 江苏省苏州市高新区前桥路299号
IPC主分类号：
G02F113
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-02-22 | 授权 | 授权 |