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蚀刻机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN200820168518.6
申请日：
2008-11-20
公开(公告)号：
CN201313937Y
公开(公告)日：
2009-09-23
发明(设计)人：
沈慕禹
申请人：
申请人地址：
312000浙江省绍兴市袍江工业区洋江路越东路口
IPC主分类号：
C23F108
IPC分类号：
代理机构：
绍兴市越兴专利事务所
代理人：
蒋卫东
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2009-09-23 | 授权 | 授权 |
| 2015-01-07 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101594943740 IPC(主分类):C23F 1/08 专利号:ZL2008201685186 申请日:20081120 授权公告日:20090923 终止日期:20131120 |