共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
蚀刻机
被引：0
申请号：
CN202123091769.3
申请日：
2021-12-09
公开(公告)号：
CN216435835U
公开(公告)日：
2022-05-03
发明(设计)人：
刘洋
申请人：
申请人地址：
510530 广东省广州市高新技术产业开发区科学城开泰大道59号
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
H01J3704
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
陈宏
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-05-03 | 授权 | 授权 |