纳米线场效应晶体管及其形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510381726.9

申请日：

2015-07-02

公开(公告)号：

CN106328520A

公开(公告)日：

2017-01-11

发明(设计)人：

禹国宾

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21335

IPC分类号：

H01L29775

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

吴敏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-01-11	公开	公开
2017-02-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101702033213 IPC(主分类):H01L 21/335 专利申请号:2015103817269 申请日:20150702
2020-08-21	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/335 申请公布日:20170111

共 50 条

[1]

纳米线场效应晶体管及其形成方法 [P].

王文博 ;

卜伟海 .

中国专利 :CN103258741A ,2013-08-21

[2]

悬浮纳米线场效应晶体管及其形成方法 [P].

张海洋 ;

王冬江 .

中国专利 :CN103377927B ,2013-10-30

[3]

鳍式场效应晶体管及其形成方法 [P].

周飞 .

中国专利 :CN107369621A ,2017-11-21

[4]

场效应晶体管及其形成方法 [P].

迈克尔·P·贝尔扬斯基 ;

奥利格·格卢斯切科夫 ;

杜雷塞蒂·奇达姆巴拉奥 .

中国专利 :CN101000925A ,2007-07-18

[5]

鳍式场效应晶体管及其形成方法 [P].

韩秋华 .

中国专利 :CN106653602B ,2017-05-10

[6]

纳米线场效应晶体管 [P].

S·邦萨伦提普 ;

G·科恩 ;

A·马宗达 ;

J·W·斯雷特 .

中国专利 :CN104025270B ,2014-09-03

[7]

超晶格纳米线场效应晶体管及其形成方法 [P].

王文博 .

中国专利 :CN103258738B ,2013-08-21

[8]

隧道场效应晶体管及其形成方法 [P].

王文博 .

中国专利 :CN114447111A ,2022-05-06

[9]

鳍式场效应晶体管及其形成方法 [P].

谢欣云 ;

徐建华 .

中国专利 :CN106653844A ,2017-05-10

[10]

鳍式场效应晶体管及其形成方法 [P].

三重野文健 ;

殷华湘 .

中国专利 :CN103943502A ,2014-07-23

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