悬浮纳米线场效应晶体管及其形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210113567.0

申请日：

2012-04-17

公开(公告)号：

CN103377927B

公开(公告)日：

2013-10-30

发明(设计)人：

张海洋王冬江

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21336

IPC分类号：

H01L2978 H01L2910

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-11-25	授权	授权
2013-11-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101545325804 IPC(主分类):H01L 21/336 专利申请号:2012101135670 申请日:20120417
2013-10-30	公开	公开

共 50 条

[1]

纳米线场效应晶体管及其形成方法 [P].

王文博 ;

卜伟海 .

中国专利 :CN103258741A ,2013-08-21

[2]

纳米线场效应晶体管及其形成方法 [P].

禹国宾 .

中国专利 :CN106328520A ,2017-01-11

[3]

超晶格纳米线场效应晶体管及其形成方法 [P].

王文博 .

中国专利 :CN103258738B ,2013-08-21

[4]

纳米线场效应晶体管的形成方法 [P].

张海洋 .

中国专利 :CN106158633B ,2016-11-23

[5]

鳍式场效应晶体管及其形成方法 [P].

张海洋 ;

郑喆 .

中国专利 :CN105590858A ,2016-05-18

[6]

鳍式场效应晶体管及其形成方法 [P].

张海洋 .

中国专利 :CN104425599A ,2015-03-18

[7]

场效应晶体管及其形成方法 [P].

迈克尔·P·贝尔扬斯基 ;

奥利格·格卢斯切科夫 ;

杜雷塞蒂·奇达姆巴拉奥 .

中国专利 :CN101000925A ,2007-07-18

[8]

鳍式场效应晶体管及其形成方法 [P].

张海洋 .

中国专利 :CN105575814B ,2016-05-11

[9]

场效应晶体管及其形成方法 [P].

李翔 ;

刘哲宏 .

中国专利 :CN107437508A ,2017-12-05

[10]

场效应晶体管及其形成方法 [P].

安德斯·布赖恩特 ;

布伦特·A·安德森 ;

艾德华·J·诺瓦克 ;

杰弗里·B·约翰逊 .

中国专利 :CN1967874A ,2007-05-23

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