一种光刻胶喷胶装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520513053.3

申请日：

2015-07-15

公开(公告)号：

CN204892278U

公开(公告)日：

2015-12-23

发明(设计)人：

赵俊韩传有

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

B05C1110

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-12-23	授权	授权
2017-09-05	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101758696028 IPC(主分类):B05C 11/10 专利号:ZL2015205130533 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张东路1525号

共 50 条

[1]

一种光刻胶喷胶装置 [P].

罗良 ;

彭孝军 ;

罗恺 .

中国专利 :CN222213196U ,2024-12-20

[2]

一种光刻胶过滤装置 [P].

李永斌 .

中国专利 :CN211384121U ,2020-09-01

[3]

一种光刻胶过滤装置 [P].

徐明星 .

中国专利 :CN207042010U ,2018-02-27

[4]

一种光刻胶过滤装置 [P].

李永斌 .

中国专利 :CN215692350U ,2022-02-01

[5]

一种光刻胶过滤装置 [P].

罗启祥 ;

高梁 .

中国专利 :CN223464497U ,2025-10-24

[6]

一种新型光刻胶喷胶方法 [P].

彭寿 ;

马立云 ;

潘锦功 ;

殷新建 ;

张东 .

中国专利 :CN109755344A ,2019-05-14

[7]

一种光刻胶供给装置和光刻胶涂布系统 [P].

杜景龙 ;

杨辉 ;

承小辉 ;

路朝华 .

中国专利 :CN205334053U ,2016-06-22

[8]

光刻胶涂布吸头及光刻胶涂布装置 [P].

汪良恩 ;

汪曦凌 ;

伍银辉 .

中国专利 :CN204347432U ,2015-05-20

[9]

光刻胶点胶匀胶装置 [P].

刘志宇 ;

陈辉 ;

吴大林 ;

武啸 ;

苏晨宇 ;

高亚钗 ;

牛凤晓 ;

吴靖轩 ;

谈晓峰 ;

刘强 .

中国专利 :CN223717532U ,2025-12-26

[10]

一种边缘光刻胶去除装置及光刻胶涂布装置 [P].

薛征 ;

叶日铨 ;

黄志凯 ;

李俊杰 .

中国专利 :CN210109551U ,2020-02-21

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