温控测试系统及方法

被引：0

申请号：

CN202210307857.2

申请日：

2022-03-25

公开(公告)号：

CN114883215A

公开(公告)日：

2022-08-09

发明(设计)人：

常鑫曹小康芮守祯何茂栋冯涛李文博张伟

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

F25B100 F25B4120

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

周治宇

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-09	公开	公开

共 50 条

[1]

耦合温控系统及方法 [P].

何茂栋 ;

杨春水 ;

芮守祯 ;

曹小康 ;

常鑫 ;

冯涛 ;

宋朝阳 ;

董春辉 ;

李文博 .

中国专利 :CN114442693A ,2022-05-06

[2]

耦合温控系统及方法 [P].

何茂栋 ;

芮守祯 ;

曹小康 ;

李文博 ;

常鑫 ;

宋朝阳 ;

冯涛 ;

董春辉 .

中国专利 :CN114489176A ,2022-05-13

[3]

用于半导体制造的温控系统及温控方法 [P].

冯涛 ;

宋朝阳 ;

张悦超 ;

胡文达 ;

靳李富 ;

曹小康 ;

芮守祯 ;

董春辉 ;

何茂栋 .

中国专利 :CN112687595B ,2021-04-20

[4]

耦合温控系统及方法 [P].

何茂栋 ;

于浩 ;

芮守祯 ;

李文博 ;

常鑫 ;

宋朝阳 ;

曹小康 ;

董春辉 ;

冯涛 .

中国专利 :CN114510089A ,2022-05-17

[5]

温控系统的控制方法、控制系统及温控系统 [P].

刘紫阳 ;

靳李富 ;

胡文达 ;

李文博 ;

芮守祯 ;

曹小康 ;

董春辉 .

中国专利 :CN115097878A ,2022-09-23

[6]

一种用于半导体生产的温控系统及温控方法 [P].

冯涛 ;

宋朝阳 ;

张悦超 ;

胡文达 ;

靳李富 ;

曹小康 ;

芮守祯 ;

董春辉 ;

何茂栋 .

中国专利 :CN112684828B ,2021-04-20

[7]

温控系统 [P].

何茂栋 ;

芮守祯 ;

曹小康 ;

常鑫 ;

李文博 ;

冯涛 ;

董春辉 ;

宋朝阳 .

中国专利 :CN114489175A ,2022-05-13

[8]

用于半导体制造的温控系统及温控方法 [P].

顾晓虎 ;

郑璐 ;

何茂栋 ;

董春辉 ;

耿海东 ;

孙硕 ;

张涵 ;

鲁元进 .

中国专利 :CN117519335A ,2024-02-06

[9]

温控系统及温控方法 [P].

宋朝阳 ;

冯涛 ;

靳李富 ;

芮守祯 ;

何茂栋 ;

曹小康 .

中国专利 :CN111538360B ,2020-08-14

[10]

制冷系统及温控方法 [P].

刘紫阳 ;

靳李富 ;

胡文达 ;

常鑫 ;

芮守祯 ;

曹小康 .

中国专利 :CN113007926B ,2021-06-22

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