蚀刻设备及其蚀刻装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620835149.6

申请日：

2016-08-03

公开(公告)号：

CN205881882U

公开(公告)日：

2017-01-11

发明(设计)人：

苏骞刘全胜金永哲乌磊孟敏

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市龙华新区大浪街道华繁路华繁工业区1栋3楼

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 44314

代理人：

张约宗

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-10-15	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/67 登记生效日:20190923 变更事项:专利权人变更前权利人:深圳市奥美特科技有限公司变更后权利人:东莞奥美特科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:518000 广东省深圳市龙华新区大浪街道华繁路华繁工业区1栋3楼变更后权利人:523000 广东省东莞市塘厦镇科苑城信息产业园沙坪路2号奥美特智能产业园A栋
2017-01-11	授权	授权

共 50 条

[1]

蚀刻装置和蚀刻设备 [P].

何正鸿 ;

韩新 ;

张成 ;

田旭 .

中国专利 :CN223638323U ,2025-12-05

[2]

蚀刻装置和蚀刻设备 [P].

何正鸿 ;

韩新 ;

陶毅 ;

田旭 .

中国专利 :CN223273214U ,2025-08-26

[3]

一种蚀刻装置及蚀刻设备 [P].

黄杰 ;

张红 ;

邱扬法 .

中国专利 :CN209030466U ,2019-06-25

[4]

蚀刻装置及其蚀刻方法 [P].

李昇勋 ;

牟圣元 ;

李羊浩 ;

裵祯贤 ;

朴成焕 ;

赵显东 .

韩国专利 :CN113474875B ,2025-03-07

[5]

蚀刻装置及其蚀刻方法 [P].

李昇勋 ;

牟圣元 ;

李羊浩 ;

裵祯贤 ;

朴成焕 ;

赵显东 .

中国专利 :CN113474875A ,2021-10-01

[6]

蚀刻设备 [P].

林刘恭 .

中国专利 :CN215481273U ,2022-01-11

[7]

蚀刻设备 [P].

林刘恭 .

中国专利 :CN215757619U ,2022-02-08

[8]

蚀刻设备 [P].

林刘恭 .

中国专利 :CN215560685U ,2022-01-18

[9]

蚀刻设备 [P].

窦福存 ;

蒋新 ;

施利君 .

中国专利 :CN221379311U ,2024-07-19

[10]

蚀刻槽局部蚀刻装置 [P].

陈杰兵 .

中国专利 :CN213818401U ,2021-07-27

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