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一种蚀刻装置及蚀刻设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201821444721.1
申请日：
2018-09-03
公开(公告)号：
CN209030466U
公开(公告)日：
2019-06-25
发明(设计)人：
黄杰
张红
邱扬法
申请人：
申请人地址：
510000 广东省广州市白云区石井街庆隆中路100号
IPC主分类号：
H05K306
IPC分类号：
H05K300
代理机构：
北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371
代理人：
吴迪
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-06-25 | 授权 | 授权 |