蚀刻治具及蚀刻装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202023234952.X

申请日：

2020-12-28

公开(公告)号：

CN213988859U

公开(公告)日：

2021-08-17

发明(设计)人：

张续朋杨彦伟刘宏亮

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市南山区学苑大道1001号南山智园A5栋4楼

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L2167 H01L21306

代理机构：

深圳智汇远见知识产权代理有限公司 44481

代理人：

艾青;牛悦涵

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-17	授权	授权

共 50 条

[1]

蚀刻治具、蚀刻装置及蚀刻方法 [P].

张续朋 ;

杨彦伟 ;

刘宏亮 .

中国专利 :CN112635389A ,2021-04-09

[2]

蚀刻治具、蚀刻装置及蚀刻方法 [P].

张续朋 ;

杨彦伟 ;

刘宏亮 .

中国专利 :CN112635389B ,2024-10-15

[3]

蚀刻栏具及蚀刻装置 [P].

李小荣 .

中国专利 :CN206940736U ,2018-01-30

[4]

蚀刻槽局部蚀刻装置 [P].

陈杰兵 .

中国专利 :CN213818401U ,2021-07-27

[5]

辅助治具及干法蚀刻装置 [P].

顾杨 ;

陈发明 ;

刘佳擎 ;

韦冬 ;

李庆 ;

于波 .

中国专利 :CN216120206U ,2022-03-22

[6]

蚀刻装置及蚀刻方法 [P].

白耀文 ;

唐攀 ;

李小平 .

中国专利 :CN101962774A ,2011-02-02

[7]

蚀刻方法及蚀刻装置 [P].

秋山政宪 ;

松尾达彦 .

中国专利 :CN103046049A ,2013-04-17

[8]

蚀刻装置及蚀刻方法 [P].

玉野博基 .

中国专利 :CN101002514A ,2007-07-18

[9]

蚀刻齿条及蚀刻蓝具 [P].

杨会良 ;

余蓉 ;

易伟华 .

中国专利 :CN203530138U ,2014-04-09

[10]

蚀刻装置及蚀刻方法 [P].

李嘉 .

中国专利 :CN111334799B ,2020-06-26

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