共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
蚀刻治具、蚀刻装置及蚀刻方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011585283.2
申请日：
2020-12-28
公开(公告)号：
CN112635389A
公开(公告)日：
2021-04-09
发明(设计)人：
张续朋
杨彦伟
刘宏亮
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市南山区学苑大道1001号南山智园A5栋4楼
IPC主分类号：
H01L21687
IPC分类号：
H01L2167
H01L21306
代理机构：
深圳智汇远见知识产权代理有限公司 44481
代理人：
艾青;牛悦涵
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-04-27 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/687 申请日:20201228 |
| 2021-04-09 | 公开 | 公开 |