蚀刻液供应装置、蚀刻装置及蚀刻方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710141809.6

申请日：

2007-08-13

公开(公告)号：

CN101140374A

公开(公告)日：

2008-03-12

发明(设计)人：

崔浩根郑培铉金龙佑

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道水原市灵通区梅滩3洞416

IPC主分类号：

G02F11333

IPC分类号：

C03C1500

代理机构：

北京铭硕知识产权代理有限公司

代理人：

韩明星;李云霞

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-10-14	实质审查的生效	实质审查的生效
2012-03-28	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101310727905 IPC(主分类):G02F 1/1333 专利申请号:2007101418096 公开日:20080312
2008-03-12	公开	公开

共 50 条

[1]

蚀刻液的再生方法，蚀刻方法及蚀刻装置 [P].

伊豆田信彦 ;

渡津春留 .

中国专利 :CN101303976A ,2008-11-12

[2]

蚀刻装置及蚀刻方法 [P].

白耀文 ;

唐攀 ;

李小平 .

中国专利 :CN101962774A ,2011-02-02

[3]

蚀刻方法及蚀刻装置 [P].

秋山政宪 ;

松尾达彦 .

中国专利 :CN103046049A ,2013-04-17

[4]

蚀刻装置及蚀刻方法 [P].

玉野博基 .

中国专利 :CN101002514A ,2007-07-18

[5]

蚀刻装置及蚀刻方法 [P].

李嘉 .

中国专利 :CN111334799B ,2020-06-26

[6]

蚀刻装置及蚀刻方法 [P].

邵照泽 ;

蔡志浩 ;

董海青 ;

邵勇 ;

梁高 .

中国专利 :CN106148959A ,2016-11-23

[7]

蚀刻方法及蚀刻装置 [P].

白靖宇 .

中国专利 :CN110707023A ,2020-01-17

[8]

蚀刻装置及蚀刻方法 [P].

张承逸 .

中国专利 :CN105513997A ,2016-04-20

[9]

蚀刻治具、蚀刻装置及蚀刻方法 [P].

张续朋 ;

杨彦伟 ;

刘宏亮 .

中国专利 :CN112635389A ,2021-04-09

[10]

蚀刻治具、蚀刻装置及蚀刻方法 [P].

张续朋 ;

杨彦伟 ;

刘宏亮 .

中国专利 :CN112635389B ,2024-10-15

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