共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
蚀刻装置及蚀刻方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010170494.3
申请日：
2020-03-12
公开(公告)号：
CN111334799B
公开(公告)日：
2020-06-26
发明(设计)人：
李嘉
申请人：
申请人地址：
518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
IPC主分类号：
C23F108
IPC分类号：
C23F116
G02F113
代理机构：
深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570
代理人：
唐秀萍
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-06-26 | 公开 | 公开 |
| 2020-07-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/08 申请日:20200312 |
| 2022-04-01 | 授权 | 授权 |