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蚀刻栏具及蚀刻装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201720642449.7
申请日：
2017-06-05
公开(公告)号：
CN206940736U
公开(公告)日：
2018-01-30
发明(设计)人：
李小荣
申请人：
申请人地址：
215301 江苏省苏州市昆山市龙腾路1号
IPC主分类号：
C03C1500
IPC分类号：
代理机构：
北京成创同维知识产权代理有限公司 11449
代理人：
蔡纯;张靖琳
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-01-30 | 授权 | 授权 |
| 2020-01-10 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C03C 15/00 变更事项:专利权人 变更前:昆山龙腾光电有限公司 变更后:昆山龙腾光电股份有限公司 变更事项:地址 变更前:215301 江苏省苏州市昆山市龙腾路1号 变更后:215301 江苏省苏州市昆山市龙腾路1号 |