金属互连当中DRAM电容器的形成

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201180074584.1

申请日：

2011-10-07

公开(公告)号：

CN104025294A

公开(公告)日：

2014-09-03

发明(设计)人：

N·林德特 J·M·施泰格瓦尔德 K·J·辛格

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚

IPC主分类号：

H01L27108

IPC分类号：

H01L218242

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

王英;张立达

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-10-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587262995 IPC(主分类):H01L 27/108 专利申请号:2011800745841 申请日:20111007
2014-09-03	公开	公开
2018-03-27	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 27/108 申请公布日:20140903

共 50 条

[1]

形成于互连层中的电容器 [P].

A·H·佩雷拉 ;

V·T·丁恩 ;

M·D·霍尔 ;

K·H·容克 .

美国专利 :CN120709254A ,2025-09-26

[2]

形成DRAM单元电容器的方法 [P].

金晟泰 ;

金景勋 .

中国专利 :CN1148799C ,2000-03-08

[3]

电容器以及形成电容器的方法 [P].

安东尼·P·查科 .

中国专利 :CN107103997B ,2017-08-29

[4]

形成电容器结构的方法和金属-绝缘体-金属电容器结构 [P].

曾宣翰 ;

陈春元 ;

周禄盛 ;

曾晓晖 ;

施俊吉 .

中国专利 :CN114530555A ,2022-05-24

[5]

电容器、包含电容器的设备及用于形成电容器的方法 [P].

权兑辉 .

中国专利 :CN109727994A ,2019-05-07

[6]

电容器、包含电容器的设备及用于形成电容器的方法 [P].

权兑辉 .

美国专利 :CN109727994B ,2024-02-09

[7]

电容器、包含电容器的设备及用于形成电容器的方法 [P].

权兑辉 .

中国专利 :CN103843137A ,2014-06-04

[8]

具有局部互连金属板的MOM电容器 [P].

陈向东 ;

陈国顺 .

中国专利 :CN203192792U ,2013-09-11

[9]

柱状电容器结构、柱状电容器的形成方法、DRAM和电子设备 [P].

康大沃 ;

杨涛 ;

张月 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN114664827A ,2022-06-24

[10]

形成电容器之方法及电容器 [P].

李宪 .

中国专利 :CN1649127A ,2005-08-03

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