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应用于LOW-K开槽设备的三轴联动精密平台
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201822198994.9
申请日：
2018-12-26
公开(公告)号：
CN209169121U
公开(公告)日：
2019-07-26
发明(设计)人：
邱鸿毅
施心星
李斌
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区04幢102、202室
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
H01L21687
H01L2168
代理机构：
苏州唯亚智冠知识产权代理有限公司 32289
代理人：
高玉蓉
法律状态：
专利权的主动放弃
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-23 | 专利权的主动放弃 | 专利权的主动放弃 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20181226 授权公告日:20190726 放弃生效日:20210310 |
| 2019-07-26 | 授权 | 授权 |