混合研磨剂型的钨化学机械抛光组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201580027200.9

申请日：

2015-03-20

公开(公告)号：

CN106414650A

公开(公告)日：

2017-02-15

发明(设计)人：

S.格拉姆宾 J.戴萨德

申请人：

申请人地址：

美国伊利诺伊州

IPC主分类号：

C09K314

IPC分类号：

H01L21304

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

宋莉;邢岳

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-09-03	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C09K 3/14 变更事项:专利权人变更前:嘉柏微电子材料股份公司变更后:CMC材料股份有限公司变更事项:地址变更前:美国伊利诺伊州变更后:美国伊利诺伊州
2019-02-15	授权	授权
2017-03-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101707271821 IPC(主分类):C09K 3/14 专利申请号:2015800272009 申请日:20150320
2017-02-15	公开	公开

共 50 条

[1]

混合研磨剂型的钨化学机械抛光组合物 [P].

W.沃德 ;

G.怀特纳 ;

S.格拉姆宾 ;

J.戴萨德 .

中国专利 :CN106415796B ,2017-02-15

[2]

含新型研磨剂的化学机械抛光组合物 [P].

A.W.海恩斯 ;

K.朗格 ;

S.格鲁宾 ;

R.A.伊万诺夫 ;

K.P.多克里 ;

B.佩特罗 ;

B.斯尼德 ;

G.克里洛瓦 .

美国专利 :CN115298276B ,2024-07-30

[3]

用于钨化学机械抛光的组合物 [P].

S.格伦宾 ;

J.戴萨德 ;

富琳 ;

W.沃德 ;

G.怀特纳 .

中国专利 :CN106103638B ,2016-11-09

[4]

用于钨化学机械抛光的组合物 [P].

S.格伦宾 ;

J.戴萨德 ;

富琳 ;

W.沃德 ;

G.怀特纳 .

中国专利 :CN106104763A ,2016-11-09

[5]

用于钨化学机械抛光的组合物 [P].

S.格伦宾 ;

J.戴萨德 ;

富琳 ;

W.沃德 ;

G.怀特纳 .

中国专利 :CN106103639A ,2016-11-09

[6]

钨的化学机械抛光方法 [P].

J·Ｄ·彭 ;

何蔺蓁 ;

S·苏 .

中国专利 :CN109382756B ,2019-02-26

[7]

钨化学机械抛光组合物 [P].

富琳 ;

S.格拉宾 ;

J.戴萨德 ;

李常怡 .

中国专利 :CN106661430B ,2017-05-10

[8]

用于钨化学机械抛光的组合物 [P].

K.P.多克里 ;

T.卡特 ;

M.E.卡恩斯 ;

J.范库伊肯 ;

P.辛格 .

中国专利 :CN111094481A ,2020-05-01

[9]

用于钨化学机械抛光的组合物 [P].

张娜 ;

K.P.多克里 ;

刘兆 ;

R.A.伊万诺夫 .

中国专利 :CN113597456A ,2021-11-02

[10]

混合研磨剂型抛光组合物 [P].

B.赖斯 ;

J.娜拉斯科斯基 ;

V.拉姆 ;

R.贾 ;

J.戴萨德 .

中国专利 :CN105814163B ,2016-07-27

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