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一种并行穿插高速激光直写光刻的方法与装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111248661.2
申请日：
2021-10-26
公开(公告)号：
CN113909698A
公开(公告)日：
2022-01-11
发明(设计)人：
匡翠方 王洪庆 王子昂 杨臻垚 汤孟博 詹兰馨 张晓依 温积森 刘旭
申请人：
申请人地址：
310023 浙江省杭州市余杭区文一西路1818号人工智能小镇10号楼
IPC主分类号：
B23K26362
IPC分类号：
B23K26082 B23K26064
代理机构：
杭州求是专利事务所有限公司 33200
代理人：
邱启旺
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-01-28 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):B23K 26/362 申请日:20211026
2022-01-11 公开 公开
共 50 条
[1]
一种并行穿插超分辨高速激光直写光刻的方法与装置 [P]. 
匡翠方 ;
王洪庆 ;
王子昂 ;
杨臻垚 ;
汤孟博 ;
詹兰馨 ;
张晓依 ;
温积森 ;
刘旭 .
中国专利 :CN113960891A ,2022-01-21
[2]
一种并行穿插超分辨高速激光直写光刻的方法与装置 [P]. 
匡翠方 ;
王洪庆 ;
王子昂 ;
杨臻垚 ;
汤孟博 ;
詹兰馨 ;
张晓依 ;
温积森 ;
刘旭 .
中国专利 :CN113960891B ,2024-02-09
[3]
一种高速高精度对准的激光直写光刻方法与装置 [P]. 
王洪庆 ;
孙琦 ;
张嘉晨 ;
汤孟博 ;
杨臻垚 ;
詹兰馨 ;
马程鹏 ;
沈小明 ;
曹春 ;
匡翠方 ;
刘旭 .
中国专利 :CN115327867A ,2022-11-11
[4]
可连续像旋转调制的高速并行激光直写光刻的方法与装置 [P]. 
匡翠方 ;
王洪庆 ;
汤孟博 ;
詹兰馨 ;
张晓依 ;
杨臻垚 ;
温积森 ;
王子昂 ;
刘旭 .
中国专利 :CN113960892A ,2022-01-21
[5]
可连续像旋转调制的高速并行激光直写光刻的方法与装置 [P]. 
匡翠方 ;
王洪庆 ;
汤孟博 ;
詹兰馨 ;
张晓依 ;
杨臻垚 ;
温积森 ;
王子昂 ;
刘旭 .
中国专利 :CN113960892B ,2024-04-16
[6]
可连续像旋转调制的超分辨高速并行激光直写方法与装置 [P]. 
匡翠方 ;
王洪庆 ;
詹兰馨 ;
汤孟博 ;
张晓依 ;
杨臻垚 ;
温积森 ;
王子昂 ;
刘旭 .
中国专利 :CN113985708B ,2024-02-13
[7]
可连续像旋转调制的超分辨高速并行激光直写方法与装置 [P]. 
匡翠方 ;
王洪庆 ;
詹兰馨 ;
汤孟博 ;
张晓依 ;
杨臻垚 ;
温积森 ;
王子昂 ;
刘旭 .
中国专利 :CN113985708A ,2022-01-28
[8]
一种浸没式激光直写光刻装置和方法 [P]. 
蒋平 ;
陈新宏 .
中国专利 :CN119200347A ,2024-12-27
[9]
一种激光直写装置和激光直写方法 [P]. 
苏晨怡 ;
杨顺华 ;
杨臻垚 ;
张嘉晨 ;
施钧辉 .
中国专利 :CN119087755B ,2025-03-25
[10]
一种激光直写装置和激光直写方法 [P]. 
苏晨怡 ;
杨顺华 ;
杨臻垚 ;
张嘉晨 ;
施钧辉 .
中国专利 :CN119087755A ,2024-12-06
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