可连续像旋转调制的超分辨高速并行激光直写方法与装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111247035.1

申请日：

2021-10-26

公开(公告)号：

CN113985708B

公开(公告)日：

2024-02-13

发明(设计)人：

匡翠方王洪庆詹兰馨汤孟博张晓依杨臻垚温积森王子昂刘旭

申请人：

之江实验室浙江大学

申请人地址：

310023 浙江省杭州市余杭区文一西路1818号人工智能小镇10号楼

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

杭州求是专利事务所有限公司 33200

代理人：

邱启旺

法律状态：

授权

国省代码：

浙江省杭州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-13	授权	授权

共 50 条

[1]

可连续像旋转调制的超分辨高速并行激光直写方法与装置 [P].

匡翠方 ;

王洪庆 ;

詹兰馨 ;

汤孟博 ;

张晓依 ;

杨臻垚 ;

温积森 ;

王子昂 ;

刘旭 .

中国专利 :CN113985708A ,2022-01-28

[2]

可连续像旋转调制的高速并行激光直写光刻的方法与装置 [P].

匡翠方 ;

王洪庆 ;

汤孟博 ;

詹兰馨 ;

张晓依 ;

杨臻垚 ;

温积森 ;

王子昂 ;

刘旭 .

中国专利 :CN113960892B ,2024-04-16

[3]

可连续像旋转调制的高速并行激光直写光刻的方法与装置 [P].

匡翠方 ;

王洪庆 ;

汤孟博 ;

詹兰馨 ;

张晓依 ;

杨臻垚 ;

温积森 ;

王子昂 ;

刘旭 .

中国专利 :CN113960892A ,2022-01-21

[4]

一种并行穿插超分辨高速激光直写光刻的方法与装置 [P].

匡翠方 ;

王洪庆 ;

王子昂 ;

杨臻垚 ;

汤孟博 ;

詹兰馨 ;

张晓依 ;

温积森 ;

刘旭 .

中国专利 :CN113960891A ,2022-01-21

[5]

一种并行穿插超分辨高速激光直写光刻的方法与装置 [P].

匡翠方 ;

王洪庆 ;

王子昂 ;

杨臻垚 ;

汤孟博 ;

詹兰馨 ;

张晓依 ;

温积森 ;

刘旭 .

中国专利 :CN113960891B ,2024-02-09

[6]

一种并行穿插高速激光直写光刻的方法与装置 [P].

匡翠方 ;

王洪庆 ;

王子昂 ;

杨臻垚 ;

汤孟博 ;

詹兰馨 ;

张晓依 ;

温积森 ;

刘旭 .

中国专利 :CN113909698A ,2022-01-11

[7]

基于光镊微球的超分辨激光直写与实时成像装置及方法 [P].

刘锡 ;

匡翠方 ;

马程鹏 ;

朱大钊 ;

丁晨良 ;

曹春 ;

杨顺华 ;

王洪庆 ;

罗昊 ;

温积森 ;

张智敏 ;

魏震 .

中国专利 :CN114077168B ,2022-02-22

[8]

一种双掩膜高通量激光超分辨激光直写方法和装置 [P].

匡翠方 ;

温积森 ;

刘旭 ;

丁晨良 ;

朱大钊 .

中国专利 :CN112731776A ,2021-04-30

[9]

集成化超分辨激光直写装置及直写方法 [P].

曾爱军 ;

刘铁诚 ;

胡敬佩 ;

朱玲琳 ;

黄惠杰 .

中国专利 :CN109491214B ,2019-03-19

[10]

一种超分辨激光直写与成像方法及装置 [P].

匡翠方 ;

刘秋兰 ;

汤孟博 ;

朱大钊 ;

张智敏 ;

徐良 ;

刘旭 .

中国专利 :CN114019764A ,2022-02-08

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