集成化超分辨激光直写装置及直写方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811473633.9

申请日：

2018-12-04

公开(公告)号：

CN109491214B

公开(公告)日：

2019-03-19

发明(设计)人：

曾爱军刘铁诚胡敬佩朱玲琳黄惠杰

申请人：

申请人地址：

201800 上海市嘉定区清河路390号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317

代理人：

张宁展

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-12-03	授权	授权
2019-04-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20181204
2019-03-19	公开	公开

共 50 条

[1]

激光直写装置及激光直写方法 [P].

李德建 .

中国专利 :CN101135856B ,2008-03-05

[2]

一种激光直写装置及激光直写方法 [P].

罗梦迪 ;

温积森 ;

朱大钊 ;

匡翠方 ;

詹刚垚 .

中国专利 :CN118244589A ,2024-06-25

[3]

基于超透镜的激光直写装置及其激光直写方法 [P].

王津 ;

周常河 ;

贾伟 ;

谢永芳 ;

赵冬 ;

项长铖 .

中国专利 :CN109343162A ,2019-02-15

[4]

一种激光直写装置、激光直写方法及超构透镜 [P].

苏晨怡 ;

杨顺华 ;

杨臻垚 ;

施钧辉 .

中国专利 :CN118192179A ,2024-06-14

[5]

一种激光直写装置、激光直写方法及超构透镜 [P].

苏晨怡 ;

杨顺华 ;

杨臻垚 ;

施钧辉 .

中国专利 :CN118192179B ,2024-08-06

[6]

激光直写对焦装置及激光直写对焦方法 [P].

朱鹏飞 ;

朱鸣 ;

浦东林 ;

李恒 ;

赵改娜 ;

吕帅 ;

邵仁锦 ;

张瑾 ;

袁晓峰 ;

陈林森 .

中国专利 :CN109407479B ,2019-03-01

[7]

激光直写装置 [P].

范永涛 ;

徐文东 ;

郝春宁 ;

刘前 .

中国专利 :CN102122118A ,2011-07-13

[8]

激光直写方法、控制设备及激光直写系统 [P].

朱鹏飞 ;

浦东林 ;

张瑾 ;

朱鸣 ;

邵仁锦 ;

王钦华 ;

徐顺达 ;

周文辉 ;

陈林森 .

中国专利 :CN118057242A ,2024-05-21

[9]

激光直写方法、控制设备及激光直写系统 [P].

朱鹏飞 ;

浦东林 ;

张瑾 ;

朱鸣 ;

邵仁锦 ;

王钦华 ;

徐顺达 ;

周文辉 ;

陈林森 .

中国专利 :CN118057242B ,2024-12-10

[10]

一种超分辨激光直写与成像方法及装置 [P].

匡翠方 ;

刘秋兰 ;

汤孟博 ;

朱大钊 ;

张智敏 ;

徐良 ;

刘旭 .

中国专利 :CN114019764A ,2022-02-08

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