研磨垫

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201280042516.1

申请日：

2012-08-24

公开(公告)号：

CN103764346A

公开(公告)日：

2014-04-30

发明(设计)人：

佐藤彰则堂浦真人

申请人：

申请人地址：

日本大阪府大阪市

IPC主分类号：

B24B3724

IPC分类号：

C08G1828 H01L21304 C08G10100

代理机构：

北京北翔知识产权代理有限公司 11285

代理人：

钟守期;侯婧

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-07-20	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101735826460 IPC(主分类):B24B 37/24 专利申请号:2012800425161 登记生效日:20160629 变更事项:申请人变更前权利人:东洋橡胶工业株式会社变更后权利人:罗门哈斯电子材料CMP控股有限公司变更事项:地址变更前权利人:日本大阪府大阪市变更后权利人:美国特拉华州
2016-10-26	授权	授权
2014-06-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101582562157 IPC(主分类):B24B 37/24 专利申请号:2012800425161 申请日:20120824
2014-04-30	公开	公开
2021-08-06	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B24B 37/24 申请日:20120824 授权公告日:20161026 终止日期:20200824

共 50 条

[1]

广濑纯司 ;

福田武司 .

中国专利 :CN101952943B ,2011-01-19

[2]

中井良之 ;

数野淳 ;

木村毅 ;

下村哲生 ;

小川一幸 .

中国专利 :CN101636248A ,2010-01-27

[3]

小川一幸 ;

下村哲生 ;

中井良之 ;

中森雅彦 ;

山田孝敏 .

中国专利 :CN101253022A ,2008-08-27

[4]

研磨垫用聚氨酯树脂以及研磨垫 [P].

若月敦史 ;

口田健太 ;

饭室美纪 ;

泽田雅史 .

日本专利 :CN120435504A ,2025-08-05

[5]

清水绅司 ;

数野淳 .

中国专利 :CN102655983A ,2012-09-05

[6]

数野淳 ;

小川一幸 ;

中森雅彦 ;

山田孝敏 ;

下村哲生 .

中国专利 :CN101537601A ,2009-09-23

[7]

数野淳 ;

小川一幸 ;

中森雅彦 ;

山田孝敏 ;

下村哲生 .

中国专利 :CN101180158A ,2008-05-14

[8]

一种研磨垫、研磨垫制造方法及一种半导体器件制造方法 [P].

数野淳 ;

小川一幸 ;

中森雅彦 ;

山田孝敏 ;

下村哲生 .

中国专利 :CN101530988B ,2009-09-16

[9]

研磨垫及其制造方法 [P].

福田武司 ;

广濑纯司 ;

中村贤治 ;

堂浦真人 ;

佐藤彰则 .

中国专利 :CN102152232A ,2011-08-17

[10]

研磨垫及其制造方法 [P].

福田武司 ;

广濑纯司 ;

中村贤治 ;

堂浦真人 ;

佐藤彰则 .

中国专利 :CN101583464A ,2009-11-18

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