研磨垫

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980106103.3

申请日：

2009-02-26

公开(公告)号：

CN101952943B

公开(公告)日：

2011-01-19

发明(设计)人：

广濑纯司福田武司

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

B24B3700

IPC分类号：

C08G1865 C08G10100

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司 11219

代理人：

金龙河;樊卫民

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-10-12	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101739880304 IPC(主分类):B24B 37/00 专利号:ZL2009801061033 登记生效日:20160914 变更事项:专利权人变更前权利人:东洋橡胶工业株式会社变更后权利人:罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司变更事项:地址变更前权利人:日本大阪府变更后权利人:美国特拉华州
2011-03-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101056901764 IPC(主分类):H01L 21/304 专利申请号:2009801061033 申请日:20090226
2011-01-19	公开	公开
2012-07-11	授权	授权

共 50 条

[1]

研磨垫及其制造方法 [P].

福田武司 ;

广濑纯司 ;

中村贤治 ;

堂浦真人 ;

佐藤彰则 .

中国专利 :CN102152232A ,2011-08-17

[2]

研磨垫及其制造方法 [P].

福田武司 ;

广濑纯司 ;

中村贤治 ;

堂浦真人 ;

佐藤彰则 .

中国专利 :CN101583464A ,2009-11-18

[3]

佐藤彰则 ;

堂浦真人 .

中国专利 :CN103764346A ,2014-04-30

[4]

研磨垫用聚氨酯树脂以及研磨垫 [P].

若月敦史 ;

口田健太 ;

饭室美纪 ;

泽田雅史 .

日本专利 :CN120435504A ,2025-08-05

[5]

中井良之 ;

数野淳 ;

木村毅 ;

下村哲生 ;

小川一幸 .

中国专利 :CN101636248A ,2010-01-27

[6]

研磨垫、研磨垫的制造方法和研磨方法 [P].

小田善之 ;

柴雄一郎 .

中国专利 :CN109311138A ,2019-02-05

[7]

研磨垫及其制造方法 [P].

清水绅司 .

中国专利 :CN106457510A ,2017-02-22

[8]

研磨垫用双组分型尿烷树脂组合物、聚氨酯研磨垫、和聚氨酯研磨垫的制造方法 [P].

新地智昭 ;

须崎弘 .

中国专利 :CN102159609B ,2011-08-17

[9]

研磨垫、其制造方法及研磨加工方法 [P].

系山光纪 ;

高桥大介 ;

上野淳一 ;

小林修一 .

中国专利 :CN102625741A ,2012-08-01

[10]

研磨垫用氨基甲酸酯树脂组合物以及聚氨酯研磨垫 [P].

小田善之 ;

须崎弘 .

中国专利 :CN103059551A ,2013-04-24

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