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一种环保型硅片清洗机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201921911010.5
申请日：
2019-11-07
公开(公告)号：
CN211071092U
公开(公告)日：
2020-07-24
发明(设计)人：
陆敏
申请人：
申请人地址：
629000 四川省遂宁市船山区创新工业园区明星大道机场东路口
IPC主分类号：
B08B310
IPC分类号：
B08B312
H01L2167
H01L21687
B01D5318
代理机构：
成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211
代理人：
方强
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-07-24 | 授权 | 授权 |