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一种MEMS传感器
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202021333137.6
申请日：
2020-07-08
公开(公告)号：
CN215924387U
公开(公告)日：
2022-03-01
发明(设计)人：
洪亭亭
柏杨
饶成辉
申请人：
申请人地址：
210093 江苏省南京市栖霞区仙林大学城元化路南大科学园新兴产业孵化基地研发楼8层
IPC主分类号：
B81B700
IPC分类号：
B81B702
代理机构：
深圳中细软知识产权代理有限公司 44528
代理人：
仉玉新
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-01 | 授权 | 授权 |