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一种MEMS传感器
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202023347228.8
申请日：
2020-12-30
公开(公告)号：
CN215479712U
公开(公告)日：
2022-01-11
发明(设计)人：
柏杨
陈燕鑫
张睿
申请人：
申请人地址：
518057 广东省深圳市南山区高新区南区粤兴三道6号南京大学深圳产学研大楼A座
IPC主分类号：
B81B700
IPC分类号：
B81B702
代理机构：
深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570
代理人：
远明
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-01-11 | 授权 | 授权 |