一种MEMS传感器

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201922072681.3

申请日：

2019-11-25

公开(公告)号：

CN211847141U

公开(公告)日：

2020-11-03

发明(设计)人：

孙传彬陈文礼陈文祥公衍刚战毅董国强牟晓宇于晓辉

申请人：

申请人地址：

264006 山东省烟台市烟台开发区贵阳大街11号

IPC主分类号：

B81B702

IPC分类号：

B81B700 B81C100

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

王云晓

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-03	授权	授权

共 50 条

[1]

一种MEMS传感器 [P].

柏杨 ;

陈燕鑫 ;

张睿 .

中国专利 :CN215479712U ,2022-01-11

[2]

一种MEMS传感器及其制备方法 [P].

孙传彬 ;

陈文礼 ;

陈文祥 ;

公衍刚 ;

战毅 ;

董国强 ;

牟晓宇 ;

于晓辉 .

中国专利 :CN110902643A ,2020-03-24

[3]

一种MEMS传感器及其制备方法 [P].

孙传彬 ;

陈文礼 ;

陈文祥 ;

公衍刚 ;

战毅 ;

董国强 ;

牟晓宇 ;

于晓辉 .

中国专利 :CN110902643B ,2024-08-13

[4]

一种MEMS传感器 [P].

张庆斌 ;

宋红磊 .

中国专利 :CN204442602U ,2015-07-01

[5]

一种MEMS传感器 [P].

洪亭亭 ;

柏杨 ;

饶成辉 .

中国专利 :CN215924387U ,2022-03-01

[6]

一种MEMS传感器 [P].

柏杨 ;

张睿 .

中国专利 :CN214299264U ,2021-09-28

[7]

一种MEMS传感器 [P].

苏云鹏 ;

姜萍 ;

金羊华 ;

储莉玲 .

中国专利 :CN222715103U ,2025-04-04

[8]

一种MEMS传感器 [P].

蔡孟锦 ;

宋青林 ;

杨丽萍 ;

郑成龙 .

中国专利 :CN205071304U ,2016-03-02

[9]

一种MEMS传感器 [P].

具子星 ;

王友 .

中国专利 :CN210351643U ,2020-04-17

[10]

一种MEMS传感器 [P].

金晨曦 .

中国专利 :CN206365043U ,2017-07-28

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