一种MEMS传感器及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911167892.3

申请日：

2019-11-25

公开(公告)号：

CN110902643A

公开(公告)日：

2020-03-24

发明(设计)人：

孙传彬陈文礼陈文祥公衍刚战毅董国强牟晓宇于晓辉

申请人：

申请人地址：

264006 山东省烟台市烟台开发区贵阳大街11号

IPC主分类号：

B81B702

IPC分类号：

B81B700 B81C100

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

王云晓

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 7/02 申请日:20191125
2020-03-24	公开	公开

共 50 条

[1]

一种MEMS传感器及其制备方法 [P].

孙传彬 ;

陈文礼 ;

陈文祥 ;

公衍刚 ;

战毅 ;

董国强 ;

牟晓宇 ;

于晓辉 .

中国专利 :CN110902643B ,2024-08-13

[2]

一种MEMS传感器 [P].

孙传彬 ;

陈文礼 ;

陈文祥 ;

公衍刚 ;

战毅 ;

董国强 ;

牟晓宇 ;

于晓辉 .

中国专利 :CN211847141U ,2020-11-03

[3]

一种MEMS传感器 [P].

柏杨 ;

陈燕鑫 ;

张睿 .

中国专利 :CN215479712U ,2022-01-11

[4]

MEMS传感器及其制备方法 [P].

汪建平 ;

胡铁刚 .

中国专利 :CN112357875A ,2021-02-12

[5]

MEMS传感器及其制备方法 [P].

戴维·L·马克斯 ;

森克·阿卡尔 ;

苏迪尔·斯里达拉穆蒂 ;

比尔·史蒂文森 .

中国专利 :CN120039822A ,2025-05-27

[6]

MEMS传感器及其制备方法 [P].

戴维·L·马克斯 ;

森克·阿卡尔 ;

苏迪尔·斯里达拉穆蒂 .

中国专利 :CN117623211A ,2024-03-01

[7]

MEMS传感器及其制备方法 [P].

吴萍 ;

刘国安 ;

徐伟 .

中国专利 :CN105731360A ,2016-07-06

[8]

MEMS传感器及其制备方法 [P].

毛剑宏 .

中国专利 :CN106365115B ,2017-02-01

[9]

MEMS传感器及其制备方法 [P].

汪建平 ;

胡铁刚 .

中国专利 :CN113603054B ,2024-01-26

[10]

MEMS传感器及其制备方法 [P].

汪建平 ;

胡铁刚 .

中国专利 :CN113603054A ,2021-11-05

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