共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
MEMS传感器及其制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110842675.0
申请日：
2021-07-26
公开(公告)号：
CN113603054B
公开(公告)日：
2024-01-26
发明(设计)人：
汪建平
胡铁刚
申请人：
杭州士兰微电子股份有限公司
申请人地址：
310012 浙江省杭州市黄姑山路4号
IPC主分类号：
B81B7/02
IPC分类号：
B81C1/00
代理机构：
上海思捷知识产权代理有限公司 31295
代理人：
刘畅
法律状态：
授权
国省代码：
浙江省
杭州市
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-01-26 | 授权 | 授权 |