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MEMS传感器及其制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510041182.5
申请日：
2025-01-10
公开(公告)号：
CN120039822A
公开(公告)日：
2025-05-27
发明(设计)人：
戴维·L·马克斯
森克·阿卡尔
苏迪尔·斯里达拉穆蒂
比尔·史蒂文森
申请人：
上海矽睿科技股份有限公司
申请人地址：
200050 上海市长宁区定西路1328号3楼307室
IPC主分类号：
B81C1/00
IPC分类号：
B81B7/02
B81B7/00
代理机构：
上海港慧专利代理事务所(普通合伙) 31402
代理人：
刘明贵
法律状态：
公开
国省代码：
上海市
市辖区
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-05-27 | 公开 | 公开 |
| 2025-06-13 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):B81C 1/00申请日:20250110 |