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MEMS传感器的制备方法及MEMS传感器

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510391424.3
申请日：
2025-03-31
公开(公告)号：
CN120208160A
公开(公告)日：
2025-06-27
发明(设计)人：
罗志颖
申请人：
广州增芯科技有限公司
申请人地址：
511356 广东省广州市增城区宁西街创优路333号
IPC主分类号：
B81C3/00
IPC分类号：
B81C1/00 B81B7/02
代理机构：
上海慧晗知识产权代理事务所(普通合伙) 31343
代理人：
徐海晟
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-06-27 公开 公开
2025-07-15 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):B81C 3/00申请日:20250331
共 50 条
[1]
MEMS传感器及MEMS传感器的制造方法 [P]. 
樱木正広 .
日本专利 :CN118145588A ,2024-06-07
[2]
MEMS传感器及MEMS传感器的制造方法 [P]. 
乾喜行 ;
藤田有真 .
日本专利 :CN117699732A ,2024-03-15
[3]
MEMS传感器防尘装置及MEMS传感器 [P]. 
徐海胜 .
中国专利 :CN213906934U ,2021-08-06
[4]
MEMS传感器的制作方法及MEMS传感器 [P]. 
庄瑞芬 ;
李刚 .
中国专利 :CN117430080A ,2024-01-23
[5]
MEMS传感器的制作方法及MEMS传感器 [P]. 
庄瑞芬 ;
李刚 .
中国专利 :CN117430080B ,2024-02-20
[6]
MEMS传感器芯片封装结构、MEMS传感器及制备方法 [P]. 
肖定邦 ;
侯占强 ;
吴学忠 ;
邝云斌 ;
虢晓双 ;
王北镇 ;
张勇猛 ;
李青松 ;
席翔 ;
蹇敦想 ;
马成虎 ;
谢钟鸣 .
中国专利 :CN114105085A ,2022-03-01
[7]
MEMS传感器芯片封装结构、MEMS传感器及制备方法 [P]. 
肖定邦 ;
侯占强 ;
吴学忠 ;
邝云斌 ;
虢晓双 ;
王北镇 ;
张勇猛 ;
李青松 ;
席翔 ;
蹇敦想 ;
马成虎 ;
谢钟鸣 .
中国专利 :CN114105085B ,2025-04-22
[8]
MEMS传感器、MEMS传感器的制备方法及电子设备 [P]. 
李瑞劼 ;
刘波 .
中国专利 :CN119450321A ,2025-02-14
[9]
MEMS传感器、MEMS传感器的制备方法及电子设备 [P]. 
陈晨 ;
王雨晨 ;
牟倩倩 ;
陈磊 ;
周志健 .
中国专利 :CN118829342A ,2024-10-22
[10]
MEMS传感器、MEMS传感器的制备方法及电子设备 [P]. 
周中恒 ;
徐恩强 ;
齐利克 .
中国专利 :CN119284825A ,2025-01-10
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