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MEMS传感器的制作方法及MEMS传感器
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311727841.8
申请日：
2023-12-15
公开(公告)号：
CN117430080A
公开(公告)日：
2024-01-23
发明(设计)人：
庄瑞芬
李刚
申请人：
苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请人地址：
215123 江苏省苏州市工业园区旺家浜巷8号
IPC主分类号：
B81C3/00
IPC分类号：
B81C1/00
B81B7/02
B81B7/00
代理机构：
深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570
代理人：
吴娟
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
江苏省
苏州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):B81C 3/00申请日:20231215 |
| 2024-02-20 | 授权 | 授权 |
| 2024-01-23 | 公开 | 公开 |