MEMS传感器及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110082211.4

申请日：

2021-01-21

公开(公告)号：

CN112758883B

公开(公告)日：

2025-02-25

发明(设计)人：

宋亚伟迟海宋学谦

申请人：

杭州海康微影传感科技有限公司

申请人地址：

311501 浙江省杭州市桐庐县桐庐经济开发区求是路299号A1号楼

IPC主分类号：

B81B7/00

IPC分类号：

B81B7/02 B81C1/00

代理机构：

北京博思佳知识产权代理有限公司 11415

代理人：

杨春香

法律状态：

授权

国省代码：

河北省衡水市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-25	授权	授权

共 50 条

[1]

MEMS传感器及其制作方法 [P].

宋亚伟 ;

迟海 ;

宋学谦 .

中国专利 :CN112758883A ,2021-05-07

[2]

MEMS传感器及其制作方法 [P].

黄晟 ;

蔡光艳 ;

魏晓莉 ;

蔡喜元 ;

贾蔓谷 ;

丁铮 .

中国专利 :CN117029908B ,2024-11-26

[3]

MEMS传感器及其制作方法 [P].

张春伟 ;

曹兴龙 .

中国专利 :CN117699736A ,2024-03-15

[4]

MEMS传感器 [P].

宋亚伟 ;

迟海 ;

宋学谦 .

中国专利 :CN215288001U ,2021-12-24

[5]

MEMS传感器的制作方法及MEMS传感器 [P].

庄瑞芬 ;

李刚 .

中国专利 :CN117430080B ,2024-02-20

[6]

MEMS传感器的制作方法及MEMS传感器 [P].

庄瑞芬 ;

李刚 .

中国专利 :CN117430080A ,2024-01-23

[7]

一种MEMS传感器的制作方法及其MEMS传感器 [P].

端木鲁玉 ;

田峻瑜 ;

闫文明 .

中国专利 :CN114132889A ,2022-03-04

[8]

MEMS传感器的制作方法 [P].

柏杨 ;

张睿 .

中国专利 :CN112551480A ,2021-03-26

[9]

MEMS结构、MEMS结构的制作方法和MEMS传感器 [P].

周志健 ;

高阳 ;

邓仕阳 ;

陈磊 .

中国专利 :CN118598068A ,2024-09-06

[10]

MEMS传感器 [P].

宋亚伟 ;

宋学谦 ;

迟海 .

中国专利 :CN215288002U ,2021-12-24

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