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MEMS传感器的制作方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011288259.2
申请日：
2020-11-17
公开(公告)号：
CN112551480A
公开(公告)日：
2021-03-26
发明(设计)人：
柏杨
张睿
申请人：
申请人地址：
213167 江苏省常州市武进区常武路801号（常州科教城远宇科技大厦）
IPC主分类号：
B81C100
IPC分类号：
代理机构：
深圳国新南方知识产权代理有限公司 44374
代理人：
周纯
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-26 | 公开 | 公开 |
| 2021-04-13 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B81C 1/00 申请日:20201117 |