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一种MEMS传感器的制作方法及其MEMS传感器

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111349314.9
申请日：
2021-11-15
公开(公告)号：
CN114132889A
公开(公告)日：
2022-03-04
发明(设计)人：
端木鲁玉 田峻瑜 闫文明
申请人：
申请人地址：
266101 山东省青岛市崂山区科苑纬一路1号青岛国际创新园二期F楼
IPC主分类号：
B81C100
IPC分类号：
B81B700 B81B702
代理机构：
北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442
代理人：
柳岩
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-03-04 公开 公开
2022-03-22 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):B81C 1/00 申请日:20211115
共 50 条
[1]
MEMS传感器的制作方法及MEMS传感器 [P]. 
庄瑞芬 ;
李刚 .
中国专利 :CN117430080B ,2024-02-20
[2]
MEMS传感器的制作方法及MEMS传感器 [P]. 
庄瑞芬 ;
李刚 .
中国专利 :CN117430080A ,2024-01-23
[3]
MEMS传感器及其制作方法 [P]. 
黄晟 ;
蔡光艳 ;
魏晓莉 ;
蔡喜元 ;
贾蔓谷 ;
丁铮 .
中国专利 :CN117029908B ,2024-11-26
[4]
MEMS传感器及其制作方法 [P]. 
宋亚伟 ;
迟海 ;
宋学谦 .
中国专利 :CN112758883B ,2025-02-25
[5]
MEMS传感器及其制作方法 [P]. 
宋亚伟 ;
迟海 ;
宋学谦 .
中国专利 :CN112758883A ,2021-05-07
[6]
MEMS传感器及其制作方法 [P]. 
张春伟 ;
曹兴龙 .
中国专利 :CN117699736A ,2024-03-15
[7]
MEMS传感器的制作方法 [P]. 
柏杨 ;
张睿 .
中国专利 :CN112551480A ,2021-03-26
[8]
MEMS传感器 [P]. 
王凯 ;
陈虎 ;
刘国俊 .
中国专利 :CN206488866U ,2017-09-12
[9]
MEMS传感器 [P]. 
徐香菊 .
中国专利 :CN209065411U ,2019-07-05
[10]
MEMS传感器 [P]. 
穆洪峰 .
中国专利 :CN222803011U ,2025-04-25
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