一种晶圆清洗机的清洗篮

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202023020281.7

申请日：

2020-12-15

公开(公告)号：

CN213519903U

公开(公告)日：

2021-06-22

发明(设计)人：

倪裕林徐新志尹旺王健忠

申请人：

申请人地址：

215331 江苏省苏州市昆山市陆家镇金阳东路1068号20号房一层

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

代理机构：

苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257

代理人：

张荣

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-22	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆单片清洗机的清洗篮 [P].

王婉婷 .

中国专利 :CN218394998U ,2023-01-31

[2]

晶圆清洗机 [P].

唐君 ;

阙进林 ;

李永祥 ;

成林 .

中国专利 :CN215656627U ,2022-01-28

[3]

晶圆清洗机 [P].

唐君 ;

阙进林 ;

李永祥 ;

成林 .

中国专利 :CN214488000U ,2021-10-26

[4]

晶圆清洗机 [P].

孙雅华 ;

吕修壮 ;

李伟平 ;

张财宝 .

中国专利 :CN222581111U ,2025-03-07

[5]

晶圆清洗机 [P].

廖招军 ;

于飞 ;

张智广 ;

吴鹏飞 ;

陈浩 .

中国专利 :CN217191177U ,2022-08-16

[6]

晶圆清洗机的灭火系统和晶圆清洗机 [P].

刘盛 ;

仰瑞 ;

陆育梃 ;

卢庆勇 ;

文洪 ;

晏涛 ;

许水波 ;

王安贵 ;

杨信鹤 ;

巫礼杰 ;

尹建刚 .

中国专利 :CN222304665U ,2025-01-07

[7]

一种晶圆清洗机 [P].

陆金发 ;

殷秋鹤 ;

刘兆山 ;

郭云静 .

中国专利 :CN217797676U ,2022-11-15

[8]

一种晶圆清洗机 [P].

杨仕品 .

中国专利 :CN212967650U ,2021-04-13

[9]

一种晶圆清洗机 [P].

王会敏 ;

何京辉 ;

李立伟 ;

张立涛 ;

张稳 ;

尚玉晓 .

中国专利 :CN205718209U ,2016-11-23

[10]

一种用于晶圆清洗机的晶圆转向装置 [P].

黄鹏 .

中国专利 :CN221632550U ,2024-08-30

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