一种化学机械抛光后清洗液的应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110461587.6

申请日：

2021-04-27

公开(公告)号：

CN113186541B

公开(公告)日：

2021-07-30

发明(设计)人：

王溯马丽史筱超何加华马伟

申请人：

申请人地址：

201616 上海市松江区思贤路3600号

IPC主分类号：

C23G118

IPC分类号：

C23G120 H01L2102

代理机构：

上海弼兴律师事务所 31283

代理人：

王卫彬;陈卓

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-30	公开	公开
2021-08-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23G 1/18 申请日:20210427
2022-08-02	授权	授权

共 50 条

[1]

一种化学机械抛光后清洗液 [P].

王溯 ;

马丽 ;

何加华 ;

史筱超 .

中国专利 :CN113186540B ,2021-07-30

[2]

一种化学机械抛光后清洗液的制备方法 [P].

王溯 ;

马丽 ;

史筱超 ;

李健华 .

中国专利 :CN113151837B ,2021-07-23

[3]

一种化学机械抛光后清洗液的应用 [P].

王溯 ;

马丽 ;

史筱超 ;

李健华 ;

王亮 .

中国专利 :CN113201742B ,2021-08-03

[4]

一种化学机械抛光后清洗液的应用 [P].

王溯 ;

马丽 ;

何加华 ;

史筱超 ;

李健华 .

中国专利 :CN113249175A ,2021-08-13

[5]

一种化学机械抛光后清洗液的应用 [P].

王溯 ;

马丽 ;

史筱超 ;

马伟 .

中国专利 :CN113186036A ,2021-07-30

[6]

一种化学机械抛光后清洗液的应用 [P].

王溯 ;

马丽 ;

马伟 ;

何加华 .

中国专利 :CN113774391A ,2021-12-10

[7]

一种化学机械抛光后清洗液的应用 [P].

王溯 ;

马丽 ;

史筱超 .

中国专利 :CN113789519B ,2024-02-02

[8]

一种化学机械抛光后清洗液的应用 [P].

王溯 ;

马丽 ;

史筱超 .

中国专利 :CN113789519A ,2021-12-14

[9]

一种化学机械抛光后清洗液 [P].

王溯 ;

马丽 ;

史筱超 ;

何加华 ;

杨跃 .

中国专利 :CN113151838B ,2021-07-23

[10]

一种化学机械抛光后清洗液的制备方法 [P].

王溯 ;

马丽 ;

史筱超 ;

何加华 ;

李健华 ;

王真 .

中国专利 :CN113215584B ,2021-08-06

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