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用于电子元件加工的光刻装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920488424.5
申请日：
2019-04-12
公开(公告)号：
CN209606773U
公开(公告)日：
2019-11-08
发明(设计)人：
温景文
申请人：
申请人地址：
201600 上海市松江区洞泾路8号18幢
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
B08B502
代理机构：
上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297
代理人：
何艳娥
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-11-08 | 授权 | 授权 |